




用氦氣作為氦質(zhì)譜檢漏氣體的原因
選擇示漏氣體(示蹤氣體)的原則是:它在空氣中及真空系統(tǒng)中的含量低;檢漏儀對示漏氣體的靈敏度高;它不會對人員、環(huán)境、被檢件及檢漏儀造成污染、傷害和安全隱患;價格低。
質(zhì)譜檢漏儀通常選擇氦氣作示蹤氣體,主要原因如下:
1、氦在空氣中及真空系統(tǒng)殘余氣體中的含量極1少(在空氣中約含5.2ppm),在材料出氣中也很少,因此本底壓力小,輸出的本底電流也小。正因為本底小,由某些原因引起本底的波動,亦即本底噪聲也就小,因此微小漏率也就能反應出來,靈敏度高。
2、氦的質(zhì)量小(相對分子質(zhì)量為4),易于穿過漏孔。這樣,氦較除氫以外的其他氣體通過同一漏孔的漏率就大,容易發(fā)現(xiàn),靈敏度高。
3、氦是惰性氣體,不與被檢件器壁起化學反應,不會污染被檢件,使用安全。
4、在氦兩側(cè)的是氫(質(zhì)荷比為2)和雙電荷原子碳(質(zhì)荷比為6),質(zhì)荷比都與氦相差較大。5MPa壓力,如果鋼瓶有漏(鋼瓶自身的焊縫,閥門處)的話,尤其是小漏時,這時就會出現(xiàn)很大的隱患,所以在出廠前,生產(chǎn)商要做嚴格的檢漏工序,用以避免在運輸或存放時的泄露隱患。這樣,它們在分析器中的偏轉(zhuǎn)半徑相差也大,容易分開,定標找氦峰時,不易受其他離子的干擾,因此就降低了對分析器制造精度的要求,易于加工。同時,分析器出口電極及離子源加速極的隙縫也可以加大,使更多的氦離子通過,提高了儀器靈敏度。
5、氦在被檢件及真空系統(tǒng)中不易被吸附。這樣檢出一個漏孔可以使氦信號迅速消失以便繼續(xù)進行檢漏,提高了儀器的檢漏效率。
6.氫氣有些性能(如質(zhì)量小、易通過漏孔)比氦還好,然而由于氫一方面有易1爆危險,另一方面在油擴散泵中,由于油受熱裂解會產(chǎn)生大量的碳和氫,使氫本底極高且波動大,以致靈敏度大大降低,所以很少采用。
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氦質(zhì)譜檢漏儀故障與處理
(1)內(nèi)部的密封結(jié)構(gòu)
當檢漏儀內(nèi)部存在泄漏時,會對檢漏工作造成較大干擾,容易造成誤檢、誤判。此外,每個測量漏率都對應兩個等效標準漏率,在細檢完成后還需要采用其它方法進行粗檢,排除大漏的可能。 檢漏儀內(nèi)部主要的密封部位在檢漏儀的后側(cè)(見圖2),位于隔熱板的上方:①檢漏儀測試口與閥門組塊的連接部位,密封方式采用膠灌密封,檢漏儀在運輸過程中如遇到強烈震動,此處容易造成密封膠開裂。②各電磁閥與閥門組件間的連接部位。密封方式采用氟橡膠圈或金屬墊片密封,橡膠圈的密封壽命有限,使用5 年以上時,有可能會存在密封失效的問題。③各零部件接口處的密封部位。如放大器與質(zhì)譜室、離子源與質(zhì)譜室、分子泵與質(zhì)譜室、標準漏孔與閥門組件、真空計與閥門組件等接口間的金屬墊片密封或橡膠圈密封。
(2)定位方法
采用噴吹法對各密封部位的氣密性進行檢測,因檢漏儀內(nèi)部結(jié)構(gòu)緊湊,各密封結(jié)構(gòu)間的距離很近,檢測時定位難度較大。質(zhì)譜室接在分子泵的高真空端,入口接在分子泵和機械泵之間,利用分子泵對不同氣體具有不同壓縮比的特點,氦氣逆著分子泵的抽氣方向進入質(zhì)譜室。經(jīng)摸索,在檢測時采用以下技巧,可提高定位的能力:①查漏前,先將分子泵風扇的電源斷開,避免風扇將氦源吹散至各個密封環(huán)節(jié),造成定位不準確。②噴吹時,要嚴格控制氦源的流量,盡量采用噴槍咀流量小的噴槍,提高定位的能力。③儀器的反應時間小于1 s,所以在一個部位噴吹的時間約3 s,再等待約3 s 后觀測信號有無變化。
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氦氣檢漏的主要參數(shù)及優(yōu)勢
1、關(guān)鍵零部件全球集優(yōu)采購,保證了系統(tǒng)的穩(wěn)定性和可靠性;
2、真空箱內(nèi)氦氣本底抑零,保證了檢漏的準確性、;
3、特有的清氦系統(tǒng),快速有效地清除超標的氦本底,保證檢測的穩(wěn)定性和準確性;
4、實時監(jiān)測氦氣壓力和濃度,保證了工件檢測的精度;
5、可對使用過程中產(chǎn)生的濃度不合格氦氣進行提純,極大降低氦氣損耗(功能可選);
6、可同時檢測多工件,并能按照需求自動判斷出具體的有漏工件;
7、專業(yè)定制的的密封接頭,穩(wěn)定可靠,減少誤判。
8、觸摸屏實時顯示監(jiān)測數(shù)據(jù)和運行參數(shù),監(jiān)控一目了然。
9、電氣控制系統(tǒng)的連鎖保護及聲光報警功能,確保了系統(tǒng)的操作安全及可靠運行。
今天和大家分享的是氦氣檢漏的主要參數(shù)及優(yōu)勢,希望對您有所幫助!